真空系統的簡單介紹及部分名詞

真空系統其實就是真空機組的一個類似的稱呼，真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環真空設備，它不見得有一些諸如散熱器，冷凝器等等設備存在。而一般能稱為真空系統的肯定是各種零部件齊全。真空應用設備種類繁多，但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統，以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個最簡單的真空抽氣系統。那么真空系統相比較于機組來說有多少泵組成呢？這個是不確定的，我們先來認識一下可能存在的泵的名詞解釋。

(1)主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

(4)維持泵：在真空系統中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。

事實上簡單的真空系統只是能獲得一個粗真空，而想要獲得高真空時，通常在真空系統中串聯一個高真空泵，比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當串聯一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥，散熱器等等，這樣就構成了一個較完善的高真空系統。